单晶金刚石半导体材料制备、大尺寸晶圆高效超精密制造工艺及装备
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项目基本信息 项目代码 【****-******-**-**-******】【ZJM**********】 项目名称 单晶金刚石半导体材料制备、大尺寸晶圆高效超精密制造工艺及装备 项目审批类型 备案 项目(法人)单位 化合积电(**)半导体科技有限公司 审批单位 ******科技和工信局 审批日期 ****-**-** 审批事项 企业投资项目备案 审批结果 批复 审批文号 厦集科工投备[****]***号 审批单位 ******科技和工信局 审批日期 ****-**-** 审批事项 企业投资项目备案 审批结果 批复 审批文号 厦集科工投备[****]***号
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