研发制造用厂房及配套设施二期射线装置项目

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建设项目环境影响登记表 项目名称 研发制造用厂房及配套设施二期射线装置项目 建设地点 ***直辖*********工业区世盛路***号 占地面积 （平方米） ****** 建设单位 **光通信有限公司 法定代表人 陈虹 联系人 李玉付 项目投资(万元) ***** 环保投资(万元) ** 拟投入生产运营日期 ****-**-** 建设性质 扩建 备案依据 该项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》中应当填报环境影响登记表的建设项目，属于第*** 核技术利用建设项目项中销售Ⅰ类、Ⅱ类、Ⅲ类、Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；使用Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；医疗机构使用植入治疗用放射性粒子源的；销售非密封放射性物质的；销售Ⅱ类射线装置的；生产、销售、使用Ⅲ类射线装置的。 建设内容及规模 一、建设内容： *. **光通信有限公司在晶圆生产线的生产制造和检测系统中，拟引进一台IMS分析仪，该设备内置*个放射性总活度为*.*E *贝可的Ni-**放射源。根据《放射源分类办法》本次拟新增的放射源属于Ⅴ类放射源，为极低危险源，不会对人造成永久性损伤。 *. 由于工艺需要，拟新增Ⅲ类射线装置**台套，包含离子注入设备和检测设备。 二、建设规模： *. 拟使用的放射性核素名称：Ni-**，放射性总活度：*.*E *贝可，使用数量：*，生产厂家：PMS（美国粒子监测系统公司），使用位置： 生产厂房*三楼SUPPORT房间FOUP内环境检测工序。 *. 拟使用的射线装置情况： *）高电流离子注入机*台，使用位置生产厂房*三楼，生产厂家AMAT，设备型号VIIsta Trident XP，最大管电压**kV，最大管电流**mA； *）中电流离子注入机*台，使用位置生产厂房*三楼，生产厂家AMAT，设备型号VIIsta ***XPT，最大管电压**kV，最大管电流*mA； *) 高电流离子注入机*台，使用位置生产厂房*三楼，生产厂家凯世通，设备型号iSTELLAR-***，最大管电压**kV，最大管电流**mA； *) 高电流离子注入机*台，使用位置生产厂房*三楼，生产厂家AMAT，设备型号VIIsta Trident XP Crion，最大管电压**kV，最大管电流**mA； *) 高电流离子注入机*台，使用位置生产厂房*三楼，生产厂家AMAT，设备型号VIIsta Trident XP，最大管电压**kV，最大管电流**mA； *) 中电流离子注入机*台，使用位置生产厂房*三楼，生产厂家AMAT，设备型号VIIsta ***XPT ，最大管电压**kV，最大管电流*mA； *) X射线衍射仪*台，使用位置生产厂房*一楼，生产厂家Bruker，设备型号JVX ****LSI ，最大管电压**kV，最大管电流**mA； *) X射线荧光分析仪*台，使用位置生产厂房*一楼，生产厂家Rigaku，设备型号WX*** ，最大管电压**kV，最大管电流**mA。 主要环境影响 采取的环保措施及排放去向 辐射环境影响 环保措施: 一、污染防治措施*. 放射源放置于IMS分析仪的密闭射源盒内，密闭射源盒不可随意拆卸；*. 设备自带铝板、钢板、铅版等屏蔽防护措施；*. 设备自带门机连锁装置；*. 设备张贴有明显警示标识；*. 操作人员配备防护用品和监测仪器，包括个人剂量测量报警、辐射监测等仪器；*. 报废的放射源由原厂回收处理。二、安全管理措施*. 配备辐射安全管理人员；*. 从事辐射工作的人员通过辐射安全和防护专业知识及相关法律法规培训；*. 建立健全的操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、放射性同位素使用登记制度、人员培训计划、监测方案等；*. 有完善的辐射事故应急措施。*. 操作人员配备防护用品和个人剂量计，建立个人计量档案，定期进行职业健康检查等。   承诺：**光通信有限公司 陈虹承诺所填写各项内容真实、准确、完整，建设项目符合《建设项目环境影响登记表备案管理办法》的规定。如存在弄虚作假、隐瞒欺骗等情况及由此导致的一切后果由 **光通信有限公司， 陈虹 承担全部责任。 备案回执：该项目环境影响登记表已经完成备案，备案号：******************。