面向先进芯片制程量检测的瓦级EUV光源

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基本信息省级项目编号****************项目分类其它建设单位 南方科技大学 组织机构代码 ********* 项目所在地**省******详细地址学苑大道****号立项文号****-******-**-**-******立项级别地*级立项批复机关***发展和改革委员会立项批复时间****-**-** **:**:**总投资（万元）****总面积/长度（平方米/米）*建设规模 项目建设主要用于购置研发EUV光源所需的设备。与驱动光源相关的设备包括：高功率脉冲固体激光器、高功率阈值光学镜片。与EUV收集相关的设备包括：大口径椭球面钼/硅多层膜反射镜、小口径球面钼/硅多层膜反射镜、EUV滤光片、碎屑防护薄膜。与真空腔相关的设备包括：真空腔体、机械泵、分子泵、真空计。高速成像系统包括：高速相机、照明激光器、延时器、触发信号源、光学元件。液滴靶发生器相关的设备包括：压电陶瓷、微米级喷嘴、高纯度锡。等离子体辐射测量系统包括：EUV光谱仪、EUV光电二极管、法拉第杯、拉缪尔探针。 建设性质工程用途计划开工日期数据等级 B 资金来源项目环节工程招投标 无 合同信息 无 施工图审查 无 施工许可 无 工程竣工验收备案 无 业绩技术指标 无 参建单位暂无信息关键岗位人员暂无信息项目诚信暂无信息