LPCVD成膜系统-重招公告

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LPCVD成膜系统-重招公告 (招标编号：****-***TC*****L*) 招标项目所在地区：**省 一、招标条件 本LPCVD成膜系统【重新招标】（招标项目编号：****-***TC*****L*），已由项目审批/核准/备案机关批准，项目资金来源为自筹，招标人为**精微传感科技有限公司。本项目已具备招标条件，现进行公开招标。 二、项目概况和招标范围 项目规模：*套 。 招标内容与范围：本招标项目划分为标段* 个标段，本次招标为其中的： *** 第*包 三、投标人资格要求 *** 第*包： 详见公告内容。 本项目不允许联合体投标。 四、招标文件的获取 获取时间：****年**月**日**时**分**秒---****年**月**日**时**分**秒 获取方法：航空工业电子采购平台（ebid.eavic.com） 五、投标文件的递交 递交截止时间：****年**月**日**时**分**秒 递交方法：线下纸质文件&线上电子文件 六、开标时间及地点 开标时间：****年**月**日**时**分**秒 开标地点及方式：**广成大酒店（线下）&航空工业电子采购平台（线上） 七、其他公告内容 **********受**精微传感科技有限公司委托，对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于****年*月**日发布招标公告，现邀请合格投标人参加投标。 *.招标条件 *.*项目名称：LPCVD成膜系统 *套 *.*资金到位或资金来源落实情况：资金已落实 *.*项目已具备招标条件的说明：已具备 *.招标内容 *.*项目实施地点：**省*** *.*招标产品列表： 序号 产品名称 数量 交货期 * LPCVD成膜系统 *套 合同签订生效之日起**个月内 *.*简要技术规格： LPCVD成膜系统是MEMS器件制造过程中必不可少的关键工序，其主要作用为：在硅片上沉积一层致密的氮化硅或者二氧化硅。主要技术规格如下： 适用于*英寸； 配置TEOS沉积SiO*炉管，沉积Si*N*炉管； 恒温区控温精度优于±*℃； 膜层均匀性优于±*%； 单炉沉积能力≥**片/炉； 更多技术指标详见第八章。 *.投标人资格要求 *.*资格要求： 关境外提供的产品：由关境外投标人参与投标。一旦中标，投标人必须是与买方签订本项目外贸合同的签约方。如投标人不具备与买方签订外贸合同的能力，将否决其投标。 关境内提供的产品：由关境内投标人参与投标。 （招标采购过程中，必须谁投标、谁中标、谁签合同，不能甲投标、乙签合同）。 *.*所投设备必须为半导体或泛半导体行业内知名品牌的成熟产品，该品牌具有良好的销售业绩，提供****年至今同类型设备合同或验收报告的复印件（至少*家不同用户）。 *.*本次招标不允许联合体投标。 *.*未在航空工业电子采购平台注册并领购招标文件的潜在投标人不得参与投标。 *.招标文件的获取 *.*招标文件领购时间：****年*月**日**:**~****年*月*日**:**（**时间）。 *.*招标文件领购地点：航空工业电子采购平台（ebid.eavic.com）。 *.*招标文件售价：****元人民币，售后不退。 *.投标文件的递交 *.* 投标文件递交截止时间：****年*月**日上午**:**（如有变更，另行通知） *.* 投标文件递交地点（线下）：**广成大酒店会议室（如有变更，另行通知） 投标文件递交地点（线上）：航空工业电子采购平台电子招投标专区 *.* 逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的纸质投标文件，招标人将予以拒收。逾期递交的电子投标文件，电子招标投标交易平台将予以拒收。 特别说明：除递交纸质投标文件外，本项目必须同时在航空工业电子采购平台进行全流程电子招投标，招标文件购买、线上投标、开标、评标以及公示等工作均同时在航空工业电子采购平台电子招投标专区进行。请投标人及时在航空工业电子采购平台购买CA数字认证证书，否则无法进行线上投标。具体请参看航空工业电子采购平台电子招投标专区发布的相关指南，有关事项请与航空工业电子采购平台客服联系（*** *** ****）。 *.开标时间及地点 *.* 开标时间：同投标文件递交截止时间 *.* 开标地点：同投标文件递交地点 *.发布公告的媒介 本公告同时在中国国际招标网、中国招标投标公共服务平台和和航空工业电子采购平台电子招投标专区发布。 八、监督部门 本招标项目的监督部门为中国航空工业集团有限公司。 九、联系方式 招标人：**精微传感科技有限公司 地址：**省西咸新区沣东***周大道****号 联系人：王小斌 电话：***-******** 电子邮件：*********** 招标代理机构：********** 地址：******学院南路**号中关村资本大厦 联系人：王欢 电话：***-******** 电子邮件：*********** 招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）：_______________（签名） 招标人或其招标代理机构：_______________（盖章）