等离子去胶机采购公告
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正文内容
【采购公告】 等离子去胶机 报名开始时间 ****-**-** **:**:** 报名结束时间 ****-**-** **:**:** * * 我要报名 项目信息 项目编号: ************ 项目名称: 等离子去胶机 采购方式: 公开询价 邀请询价 竞争性谈判 竞争性磋商 单一来源采购 项目比选 商品比选 评审办法: 有效最低价 综合评估法 项目类型: 科研仪器 预算金额: ******.**元 采购人信息 采购单位: 联系人: 电话: 地址: 邮箱: 商品信息 序号 商品信息 数量 计量单位 预算单价 预算总额 商品参数 商品备注 * 等离子去胶机 品牌:无 货号/型号:无 规格:台 * 台 ******.**元 ******.**元 * *、产品尺寸≤***mm(长)****mm(宽)*****mm(高); *、离子体发生器采用IGBT模块,自有过流,过载安全保护; * *、真空腔体尺寸≥L****W****H***mm; *、使用平板气浴电极; * *、样品处理面积≥***mm(长)****mm(宽); *、功率可调范围:*-****W连续可调; * *、气体控制:至少*路气体,MFC质量流量计(范围≥*-***mL); ★*、适用于多通道微流控检测芯片的制备,可一次装载**片*寸晶圆; ★*、控制系统使用触摸屏+PLC控制,可在线设定、修改、监控真空压力、处理时间、气体流量、等离子功率等工艺参数,并具有故障报警、工艺存储、系统维护等多种功能; * **、真空泵抽速大于等于*L/S,极限真空≥*.*Pa。 内容公告 附件信息 附件:_*-* 采购项目技术参数及配置要求表.pdf 附件:采购公告.pdf 报价网址:https://sso.casmart.com.cn/login
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