光刻机用显微模块

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项目名称 光刻机用显微模块 项目编号 XJD************* 公告开始日期 ****-**-** **:**:** 公告截止日期 ****-**-** **:**:** 采购单位 **交通大学 付款方式 货到安装、调试、验收合格后，付全款。 签约时间要求 发布竞价结果后*天内签订合同 到货时间要求 发布竞价结果后*天内送达 预算总价 ***** 币种 人民币 收货地址 **省********** 供应商资质要求 无 采购清单 * 采购商品 采购数量 计量单位 附件 光刻机用显微模块 *.** 无 品牌 无 型号 无 预算单价 ***** 规格参数 曝光参数： *.光源：*** nm *.数字掩模板分辨率：**** × **** *.观测镜头:*.* mm × *.* mm *.光刻镜头*：最小线宽*.* μm，工作距离* mm *.光刻镜头*：最小线宽*.* μm，工作距离* mm *.照**源：支持显微观测且不会引起光刻胶变性 *.套刻精度：套刻精度* mm x * mm：*** nm套刻精度** mm x ** mm：*** nm（全局畸变矫正算法） 售后服务 按行业标准提供服务，质保期**个月。 报价地址：https://www.ejingcai.com.cn/site