高真空磁控溅射薄膜沉积系统（JJ2024000135）采购公告

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项目名称 高真空磁控溅射薄膜沉积系统 项目编号 JJ********** 公告开始日期 ****-**-** **:**:** 公告截止日期 ****-**-** **:**:** 采购单位 **** 付款方式 内贸：全部货物交货并最终验收合格后，乙方向甲方提供全额的正式发票（**万元以上的国产设备乙方必须提供全额的增值税专用发票），甲方凭验收合格材料向乙方支付***%的合同款。 联系人 联系电话 签约时间要求 成交后**个工作日内 到货时间要求 内贸：合同签订后**个工作日内 预算总价 ￥***,***.** + + 未公布 收货地址 ****科技园 供应商资质要求 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 公告说明 采购清单* 采购商品 采购数量 计量单位 所属分类 高真空磁控溅射薄膜沉积系统 * 台 其他电工、电子生产设备 无 无 品牌 品牌* 中国科学院**科学仪器股份有限公司 型号 TRP*** 品牌* 型号 品牌* 型号 预算单价 ￥***,***.** *"> 技术参数及配置要求 极限真空度：≤*.*x**-*Pa(经烘烤除气后) 抽速 从大气开始抽气：**分钟可达到*.*x**-* Pa 保压性能：系统停泵关机**小时后真空度：≤*Pa 真空室： *.单室结构 *.手动前开门 *.优质***不锈钢材质 *.尺寸约：Ф***mmx***mm *.具备内烘烤除气功能 *.具备腔外照明功能 磁控溅射靶： *.永磁靶：*套 *.尺寸：*英寸 *.向上溅射 *.倾斜共溅射 *.靶基距可调：**mm-***mm 直流溅射电源: *.输出功率：*-***W *.数量：*套 射频溅射电源:*.输出功率：*-***W *.输出频率：**.**MHz *.自动匹配器 *.数量：*套 基片台: *.尺寸：*英寸（兼容小尺寸基片） *.数量：*片 *.水冷保护：室温到**℃（水冷保护温度参考冷水机出水温度） *.基片自转速度：*～**转/分 *.配有负偏压电源 气体流量控制器： *.氩气：*-***SCCM（准确度：±*.*%F.S） *.氮/氧气：*-**SCCM（准确度：±*.*%F.S） *.备一路 脂润滑分子泵：****L/S 旋片真空泵：**L/S 复合真空计：*x***Pa-*x**-*Pa 工艺薄膜规：规格**.*pa 售后服务 质量保证期:验收合格之日起算一年;服务网点:国内;电话支持:*×*小时; **** ****-**-** **:**:** 报价网址:http://sbcg.fzu.edu.cn/provider/#/publish/**M*ERF**SFACDPW