湿法刻蚀机竞价公告-CB108562024000153

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申购主题：湿法刻蚀机 报价要求：国产含税 发票类型：增值税专用发票 付款方式：货到验收合格后付款 送货时间：合同签订后**天内送达 安装要求：免费上门安装（含材料费） 预算：***,***.**** 人民币 收货地址：***/***/***/ 供应商资质： 备注说明： 序号设备名称数量/单位预算单价品牌型号规格参数质保及售后服务附件 * 湿法刻蚀机 *(台)******不指定不指定 *.需要兼容*英寸硅衬底以上晶圆的TSV，RDL，Pillar，MEMS工艺刻蚀； *.能配合完成离子束刻蚀（IBE），深硅刻蚀（DRIE），反应离子刻蚀（RIE），聚焦离子束刻蚀（FIB）。 *.能完成Si和金属Cu的湿法刻蚀，并提供刻蚀药水供应； *.需配备*个湿法刻蚀槽和*个QDR快速清洗槽； *.能提供独立的etch循环槽体（外槽溢流，内槽进液）和QDR循环槽体（外槽溢流，内槽进液）。 *.进口隔膜泵需选取Whiteknight，graco，yamada三家之一。 *.介质刻蚀均匀性＜*%、金属刻蚀均匀性＜*%、颗粒控制≤** ea； *.可适用多种药液如H*SO*、HF、HNO*、H*PO*等； *.工艺腔体需经过优化设计，提供优秀的洁净度和气密性控制； **.需为本单位提供机器操作培训，设备最长可以在交付之后一年内启动使用，启用之后一年的整机质保，质保期内需提供免费上门维修服务。 **. ****年**月**日之前完成交货验收。 设备最长可以在交付后一年内启动使用，启用之后一年的整机质保，质保期内需提供免费上门维修服务。 报价网址:https://www.easyjcx.com/#/purchase/detail/a*aa****-**b*-***b-****-bcf****e**f*