西南大学教学实验及实训基地设备更新项目-物理学专业实验平台建设竞价公告-CM106352024000087

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申购主题：****教学实验及实训基地设备更新项目-物理学专业实验平台建设 报价要求：国产含税 发票类型：增值税专用发票 付款方式：货到后按照履约保证金支付方式付款 送货时间：发布竞价结果后**天内送达 安装要求：免费上门安装（含材料费） 预算：***,***.**** 人民币 收货地址：***/***/***/ 供应商资质： 备注说明： 序号采购内容数量预算单价可选品牌型号规格参数质保及售后服务附件*PVD 薄膜沉积系统* (套) ***,***.** (人民币) **大华/MiniLab-**S矩阵科技/RS-B*** Series*. *、 溅射沉积室 沉积室、连接管道和法兰均采用SUS***不锈钢，材料致密放气量小；前开门结构，有观察窗和挡板，磁控靶安装在下底盘，样品台在上顶板，腔室带防污内衬，可拆卸清洗。 *、真空系统 真空系统 ★*）极限真空度：优于*×**-*Pa (空载经烘烤除气后） *）恢复真空：从大气抽至*×**-*Pa≤**min（充入干燥氮气、短时间暴露大气开始抽气） *）真空室漏率：关机**小时真空度≤*Pa。（新设备空载） ★*）系统真空检漏漏率：小于*.*×**-**Pa·m*/s；内外表面电解抛光处理。 *、样品台 *）样品台：抽屉式结构可装载最大*英寸基片托（方片尺寸***mm×***mm）可以根据客户样品形状和大小定制样品托。 *）样品台旋转：转速*～**rpm连续可调；步进电机控制，转动平稳。 *）工转机构：采用上驱动，中心悬挂方式，磁流体无油密封传动。转动支承部位配有水冷套装置，避免加热器等热源对运动精度的不良影响。加热器周围有隔热保护罩，使基片受热均匀。 *）样品台加热：采用数字温控仪，进口电阻合金进行加热，加热炉温度：室温～***℃，由热电偶闭环反馈控制，可控可调。控温精度±*℃，可分段设定升温斜率。加热区内，温度均匀性±*℃。 *、磁控溅射靶组件 安装*个磁控溅射靶组件，其中*个靶位可溅射磁性材料（如镍或铁等）。 *、工艺气路 *）*路质量流量计控制的气路，可外接多种气体，其中Ar：***sccm、O*：**sccm、N*：***sccm 精度±*%， *）前端带电磁截止阀和过滤器，后端配有混气室； *、溅射电源 *）射频电源：功率***W，频率**.**MHz，全自动匹配； 数量：*套 *）直流溅射电源：最大输出功率：***W；输出电压：*～***V可调 数量：*套 （其中一台直流电源一拖二，切换使用） *、水路系统 SUS***不锈钢水排，保障循环供水到每个水冷部件；每路冷却水采用水流感应开关检测供水状态，执行异常报警。 *、软件及其功能（配套控制软件） ★*、投标人提供的成品软件应具有著作版权，成品软件应具有一键式操作功能，并配置多种标准工艺参数包，可以直接调取执行；*、应具有自选参数功能，可设定好目标真空度、样品目标加热温度、溅射电源工作参数，系统自动开始抽真空，达到目标真空度后开始加热，达到目标温度后根据设定的功率开启溅射电源，溅射时间以设定的工作参数为准； ▲*、同时对溅射电源的功率和溅射时间可以设定多个数值，实现不同输出功率、不同镀膜时间的控制，进而实现多靶轮流溅射和共溅射； ★*、完备的工艺菜单编辑功能，大容量菜单存储空间，满足客户菜单存储需求（大于***个）； *、具有操作日志记录功能，记录操作者操作时的关键信息。 ▲*、机身配置物联网+二维码服务系统:手机扫描二维码进入微信操作界面可显示仪器信息、关注公众号、点击查看产品使用说明书、在线故障报修、用户注册等内容，投标人须提供二维码识别证明材料。 *、工业冷水机 采用微电脑PLC控制，可自动控制整机运行，全功能防错操作系统，电气部分均为国际品牌，保证机器工作稳定，寿命长久。全钛管式水箱蒸发器，防止纯水在输送过程中产生固体和其它金属杂质。精密数显温度控制器，能精确控制水温±*℃，按键式操作，安装简便，静电喷塑外壳，欧化设计，美观**，外表板采用快速拆装形式。 **、阀门气路单元 **、备品备件 *套 （设备的详细参数见附件） 按行业标准提供服务 报价网址:https://www.easyjcx.com/#/purchase/detail/b*******-****-***a-***a-**ac*b**bba*