[BA202401382]基于热光效应的SiN硅光芯片流片加工
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正文内容
采购信息 项目编号 BA********* 项目名称 基于热光效应的SiN硅光芯片流片加工 经办人单位 电子科学与工程学院 经办人 胡小龙 预算金额 *****.** 人民币 成交金额 *****.** 人民币 成交供应商 **燕东微电子科技有限公司 联系地址 ***-***-*** 采购单位 ****电子科学与工程学院 付款方式 服务完毕验收合格后***%付款。 供应商联系手机 *********** 服务时间 ****年**月**日 至 ****年**月**日 服务地址 **省-***-****前卫南区 验收方式 以成交单为准,参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。 售后服务要求 产品使用*吋*.**um工艺,SiN波导高度大于等于***nm 明细清单 采购品目 金属制品的制造业服务和金属加工服务 名称 基于热光效应的SiN硅光芯片流片加工 单位 项 数量 * 单价 ¥**,***.** 总价 ¥**,***.** 范围/服务内容及要求 在“基于热光效应的 SiN 硅光量产平台”上,开展流片业务。 工艺方案:使用 * 吋线 *.** um 工艺,最小 Line/Space = *.**/*.** um。 共 * 张光刻版。 信息咨询 ****招标与备案(采购)管理中心 设备类:林老师: ****-******** 工程类:白老师: ****-******** 服务及其他货物:李老师: ****-********
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