高真空电阻蒸发镀膜设备（JJ2024002470）延期公告

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项目名称 高真空电阻蒸发镀膜设备 项目编号 JJ********** 公告开始日期 ****-**-** **:**:** 公告截止日期 ****-**-** **:**:** 采购单位 **** 付款方式 供方提供货物至需方指定地点经安装验收合格，双方签字确认后，七个工作日内支付全部货款。 联系人 成交后在我参与的项目中查看 联系电话 成交后在我参与的项目中查看 签约时间要求 到货时间要求 按照合同约定执行 预算总价 NaN 未公布 发票要求 增值税普通发票 增值税专用发票 含税要求 送货要求 安装要求 收货地址 ******同砚路**号******校区材料科学与工程学院*** 供应商资质要求 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 公告说明 由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至****-**-** **:** 采购清单* 采购商品 采购数量 计量单位 所属分类 高真空电阻蒸发镀膜设备 * 台 无 无 品牌 品牌* **微纳真空 型号 VZZ-*** 品牌* 型号 品牌* 型号 品牌* 型号 品牌* 型号 品牌* 型号 预算单价 ￥NaN 技术参数及配置要求 一、详细技术参数： *.真空腔室：Φ***×H***mm，上钟罩（高硼硅玻璃）+下底座（*** 不锈钢）结构； *.真空系统 ：***L/s 抽速复合分子泵+直联旋片泵组成的大抽速、准无油真空系统；全量程数显复合真空计（*×***～*×**-*Pa）； *.真空极限：≤*.*×**-*Pa（*.*×**-*Torr）； *.抽速：分子泵完全启动，抽至 *.*×**-*Pa≤**min； *.结构尺寸： （*）抽屉式结构，最大可镀基片尺寸：***×***mm，该范围内可装卡各种规格基片：**～**mm 方形 ITO/FTO 玻璃约 **～** 片； （*）基片掩膜：随设备提供一块掩膜板（客户需需提供掩膜图案）； （*）衬底水冷：采用基片台背板通冷却循环水强制水冷； *.蒸发源及电源：两组蒸发源；采用水冷式蒸发电极，可长时间稳定工作，兼容金属材料和有机材料的蒸发源结构设计；蒸发源配隔离屏蔽罩，防止两源交叉污染且屏蔽有害热量；*.膜厚监控：采用高精度石英晶振膜厚监控仪在线监测蒸镀速率、自控膜厚； *.蒸发电源： 台蒸发电源，通过切换按钮，能实现一次真空环境两源依次蒸发；额定功率：*.*KW，恒流工作模式，最大电流 ***A； *.速率和膜厚监控：采用膜厚监控仪和开发的膜厚控制程序，蒸镀过程中实时监测蒸发速率，监控膜厚；厚度监测范围 *？～****？，分辨率 *？；速率监测范围 *.*？～****.*？/s，分辨率 *.*？； *.水冷系统：水冷部件有分子泵、蒸发电极、膜厚仪探头等；配高精度冷却循环水机 * 台； **.控制方式：PLC 手自动控制，触摸屏操作； **.报警及保护：对分子泵、膜厚仪探头、蒸发电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的程序互锁、完备的防误操作设计及保护。 **. 特别定制：掩膜板一块。 二、产品配置 *. 高真空电阻蒸发镀膜设备 *. 冷却循环水机； *.速率和膜厚检测系统； *.衬底水冷组件； *.衬底加热组件； *.说明书一份； *.包装箱一套； 参考链接 售后服务 按国家法定或行业要求提供售后服务。 **** ****-**-** **:**:** 报名地址:https://app.yuncaitong.cn/login.html