深硅刻蚀机-变更公告

正文内容

项目名称：深硅刻蚀机 招标人：淮海工业集团有限公司 招标编号：****-********A*** 本项目第五章招标公告*.*设备技术要求*)“硅-玻璃键合片静电吸附良好，氨气压力**Torr时，氨气流量≤*sccm” 变更为：“硅-玻璃键合片静电吸附良好，氦气压力**Torr时，氦气流量≤*sccm”。 本项目第八章货物需求一览表及技术规格二、主要技术参数：**) “硅-玻璃键合片静电吸附良好，氨气压力**Torr时，氨气流量≤*sccm” 变更为：**) “硅-玻璃键合片静电吸附良好，氦气压力**Torr时，氦气流量≤*sccm”。 特此公告 ***************** ****年**月**日 ***************************