西安电子科技大学2024年1月政府采购意向

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射频器件薄膜溅射台 项目所在采购意向： ************年*月政府采购意向 采购单位： ******** 采购项目名称： 射频器件薄膜溅射台 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A******** 电子工业生产设备 采购需求概况 ： 设备配有Load-Lock系统，可完成自动/手动送样/取样过程；可满足*英寸及以下各种规格尺寸的样品的溅射；具有多个靶枪，并且满足强磁性材质溅射和介质类材质溅射的功能；具备低温冷泵系统；工艺腔室极限真空达到**-*Torr量级；*英寸片内均匀性不大于+*%；可通过windows系统独立实时控制系统实现设备操控；具备异常情况报警与保护设置，具备完善的逻辑程序互锁保护系统。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。