中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年3至12月政府采购意向
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HF/XeF*气相刻蚀设备 项目所在采购意向: ***********************年*至**月政府采购意向 采购单位: ******************* 采购项目名称: HF/XeF*气相刻蚀设备 预算金额: ***.******万元(人民币) 采购品目: A********其他电工、电子生产设备 采购需求概况 : HF/XeF*气相刻蚀设备是图形化和各种纳米结构加工的常用设备,广泛应用半导体产业和超导量子计算芯片制备,是基于真空互联图形化的一个很好的选择,可以为未来基于真空互联的器件制备提供必要的技术支持。 预计采购时间: ****-** 备注: 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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