中国科学院光电技术研究所2024年4至12月政府采购意向
已收藏 收藏
正文内容
倒立掩摸轮廓测量组件 项目所在采购意向: ****************年*至**月政府采购意向 采购单位: ************ 采购项目名称: 倒立掩摸轮廓测量组件 预算金额: ***.******万元(人民币) 采购品目: A********光学式分析仪器 采购需求概况 : "一、倒立掩模轮廓测量组件功能: *、研制倒立掩模轮廓测量组件,可以对倒立状态下的掩模实时进行三维面形检测和数据分析,测量口径大于*英寸。 二、倒立掩模轮廓测量组件主要单元 *、测量主机:测量主机是测量的主体部分,主要完成倒立掩模外形的数据采集,面形测量精度优于**nm;测量重复性优于*.*nm;可用于高反射率表面面形测量(镀铬表面);测量主机外形尺寸***mm(长)×***mm(宽)×***mm(高),测量主机的重量小于**Kg,方便搬运。 *、测量光源:测量光源采用外差调制光源,并通过光纤导入测量主机,从而使测量主机不需要机械移项便可以进行测量。 *、电脑主机:电脑主机主要对测量主机测量结果进行实时处理和显示;" 预计采购时间: ****-** 备注: 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
相关推荐
-
陕建九建集团九公司明珠城二标段(地块四住宅部分)项目水泥采购采购任务
陕西省 2024-10-05 招标预告 -
广州市越秀区人民检察院2024年10月至2024年11月政府采购意向
越秀区 2024-10-05 招标预告 -
珠海市金湾区平沙社区卫生服务中心2024年10月至2024年12月政府采购意向
金湾区 2024-10-05 招标预告 -
韶关市曲江区樟市镇人民政府2024年10月至2024年11月政府采购意向
曲江区 2024-10-05 招标预告 -
潮州市湘桥区南春中学2024年10月至2024年11月政府采购意向
湘桥区 2024-10-05 招标预告