合肥工业大学2025年4月政府采购意向-合肥工业大学精密测量仪器原理验证平台

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******精密测量仪器原理验证平台 项目所在采购意向： **********年*月政府采购意向 采购单位： ****** 采购项目名称： ******精密测量仪器原理验证平台 预算金额： ****.******万元(人民币) 采购品目： A********其他光学仪器 采购需求概况 ： 采购国产设备，包括晶圆缺陷检测自动对焦平台、晶圆形貌自动测量运动平台、高精度气浮旋转轴系、*轴运动检测平台、光纤双频激光干涉仪、高精度五轴气浮运动平台、全场非接触扫描三维振动测试系统、多自由度微纳位移驱动传感测试标定系统等。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。