中国科学院光电技术研究所2024年6至12月政府采购意向

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碳化硅点阵硅片吸盘 项目所在采购意向： ****************年*至**月政府采购意向 采购单位： ************ 采购项目名称： 碳化硅点阵硅片吸盘 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： C********机械和设备制造业服务 采购需求概况 ： "碳化硅点阵硅片吸盘： *、采用**.*%以上纯度碳化硅粉末无压烧结而成，外形尺寸φ***mm***mm，材料弹性模量不低于***GPa、维氏硬度不低于****kgf/mm^*、断裂韧性不低于*.*Mpa*m^*/*; *、采用二次烧结的方式在吸盘内部加工出散热流道，流道呈S形排布，均匀布满整个φ***mm区域，流道截面尺寸不低于*X*mm；流道烧结完成后侧面无明显接痕，能够耐至少*bar水压**小时以上不漏水; *、吸盘背面加工蜂窝形轻量化结构； *、吸盘表面加工****个左右圆柱凸点阵列，覆盖φ***mm区域，圆柱凸点直径*.*mm、高度*.*mm，圆柱顶面边缘不能有毛刺翻边等缺陷，圆柱不能有断裂破损； *、吸盘表面需加工出密封结构，保证吸附**寸硅片时不漏气；" 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。