华南师范大学2024年08月至2024年10月政府采购意向
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为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔****〕**号)等有关规定,现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下: 序号 采购项目名称 采购需求概况 落实政府采购政策情况 预算金额(元) 预计采购时间 备注 * 华南师范大学采购GaN-MOCVD项目 标的名称:GaN-MOCVD 标的数量:* 主要功能或目标:用于开展GaN半导体外延生长研究,可制备高质量GaN半导体材料,并实现掺杂。可生长量子阱,超晶格等精细结构,以及完整的器件结构,适用于生长各种尺度的单层膜或多层膜。可生长用于集成电路、半导体器件的高性能材料。 需满足的要求:GaN MOCVD系统:设备配套有传送腔,反应腔,真空泵,气体输运管道,水冷、升温及温度控制、反应实时监控等。实现精确控制GaN 薄膜材料生长:*.生长速率≥*um/h *. 片内厚度均匀性STD≤*%;(白光干涉测量厚度,单个外延片内标准偏差, 或单炉内每片的平均厚度取标准偏差) *. 载流子浓度≤*x****cm-*(Hall 测试@室温,外延片中心点小电流测量) *. 迁移率≥***cm* 按规定落实 *,***,***.** ****年**月 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 华南师范大学 ****年**月**日
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