华南师范大学2024年08月至2024年11月政府采购意向
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为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔****〕**号)等有关规定,现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下: 序号 采购项目名称 采购需求概况 落实政府采购政策情况 预算金额(元) 预计采购时间 备注 * **师范大学采购超高真空脉冲激光分子束外延集成系统项目 标的名称:超高真空脉冲激光分子束外延集成系统 标的数量:* 主要功能或目标:超高真空激光分子束外延集成系统(L-MBE)是一种新型的薄膜制备技术,通过控制薄膜制备过程中的工艺条件,能够制备高性能半导体材料和开发新材料,用于生长各种纳米尺度的单层膜或多层膜,制备单晶或多晶化合物、半导体等薄膜或超薄膜样品。 需满足的要求:至少两个真空腔体,进样室极限真空≤*×**-*Pa,生长室充分烘烤后背底真空优于*E-**mbar,衬底尺寸为*-*英寸,样品台加热系统的可调范围RT~****℃,控温精度±*.*℃;样品台可连续回转,配单独挡板;生长腔体可进行***℃烘烤;*个蒸发束源炉,温控精度±*.*°C,单独挡板;气体等离子体源;配备薄膜原位生长监测;独立的系统控制软件和工艺控制软件,含配套PC及硬件;有薄膜厚度监控。 按规定落实 *,***,***.** ****年**月 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 华南师范大学 ****年**月**日
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