深圳大学激光直写光刻机意向公开

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**大学激光直写光刻机意向公开采购单位:**大学项目名称:激光直写光刻机预算金额（元）:*,***,***.***采购品目:激光仪器采购需求概况:激光直写光刻机需具备***nm 和***nm 两种激光光源，最小曝光结构尺寸需达到***nm，同时配备不少于三种曝光分辨率书写模式如***nm、***nm以及*um用于快速完成不同细节要求的结构；为满足多层结构加工需求，正面套刻需要保证对位精度，套刻精度不大于***nm；此外灰度曝光能力不低于****阶，实现精细控制灰度曝光精度；可加工的尺寸应满足八寸片且向下兼容；售后需提供*年维保。联系人:刘老师联系电话:***********预计采购时间:****-**备注:无本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准