深圳大学ICP-RIE等离子刻蚀机意向公开

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**大学ICP-RIE等离子刻蚀机意向公开采购单位:**大学项目名称:ICP-RIE等离子刻蚀机预算金额（元）:*,***,***.***采购品目:压片加工设备采购需求概况:ICP-RIE等离子刻蚀设备利用感应耦合产生**度等离子体，实现硅、介质、石英等材料的干法刻蚀，并能在常温下完成Bosch工艺，实现深硅刻蚀，具备激光终点监测功能。高耦合效率和低离子能量，减少材料损伤，结合动态温度与气体流量控制，实现高精度刻蚀。Bosch工艺用于精细刻蚀三维结构，达到高深宽比、高选择性和垂直度。激光终点监测功能确保刻蚀精度，满足多层结构加工中对每层刻蚀深度、形状和位置的精确控制。联系人:陈老师联系电话:***********预计采购时间:****-**备注:无本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准