深圳国际量子研究院电子束曝光机移机服务采购项目意向公开

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**国际量子研究院电子束曝光机移机服务采购项目意向公开 采购单位: **国际量子研究院 项目名称: 电子束曝光机移机服务采购项目 预算金额（元）: *,***,***.*** 采购品目: 其他机械设备 采购需求概况: 申请将我院芯片中心现有的一台电子束曝光机从慧园三栋移机至**保税区实验场地。相关移机背景和申请理由说明如下：根据学校实验室安全管理中心最新的“剧毒化学品的相关安全管理”规定，量子芯片中心受慧园*栋所处地理位置的限制，不满足开展氯气等特殊气体环境下的刻蚀工艺相关实验条件和环境，使该电子束曝光机的功能和使用效率大打折扣。基于此，不得不将量子芯片中心核心工艺设备移机至符合国家安全规范的场地继续开展实验研究。 电子束曝光是量子器件与芯片加工中心工艺中最重要的组成部分之一，超导量子计算芯片的约瑟夫森结、以及硅量子点等结构与器件由于设计线宽较小（**nm至***nm），光刻制备工艺必须通过电子束曝光来完成，所以是实验室无法替代的工艺环节，且该设备机时使用率常年稳定在**%以上。 而由于电子束曝光机工作原理及相关工艺要求，及出于对人身安全及设备安全考虑，移机需要专业的技术团队及工具，所以只能通过原厂供应商进行移机服务。 预计采购时间: ****-** 联系人: 贾老师 联系电话: ****-******** 备注: 无 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准