南京大学2024年11月政府采购意向

正文内容

多腔薄膜沉积联合系统 项目所在采购意向： ********年**月政府采购意向 采购单位： **** 采购项目名称： 多腔薄膜沉积联合系统 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A******** 真空应用设备 采购需求概况 ： ****拟采购多腔薄膜沉积联合系统一套，由一套超高真空磁控溅射系统、一套电子束蒸发镀膜系统和一套进样系统组成。主要参数需求如下：一、超高真空磁控溅射：*. 样品尺寸：*英寸；*. 溅射腔室极限真空：**-*Pa量级；*. 溅射腔室正面设有铰链DN***手动快开门，双密封结构；*. 样品台加热温度：***℃，靶基距调节范围***mm，样品台旋转*-**rpm；*. 靶枪及电源：*个*英寸超高真空靶枪，*个直流电源和*个射频电源；*. 工艺气体：*路气体进气，氩气，氧气，氮气；配有工艺稳压模块；*. 膜厚均匀性优于±*%。二、电子束蒸发镀膜系统：*. 样品尺寸：*英寸；*. 电子束蒸发沉积系统极限真空：**-*Pa量级；*. 水冷样品台：*英寸样品，样品台旋转*-**rpm连续可调；偏摆角度可调*-**°（不破真空且样品台旋转连续旋转时）；生长距离调节范围**mm（生长距离***mm）；*. 电子束蒸发源：电子束蒸发源 *x*cc，电源功率*kW；*. 膜厚均匀性优于±*%。三、进样系统：*. 进样系统与超高真空磁控溅射系统及电子束蒸发镀膜系统对接；*. 进样系统极限真空：**-*Pa量级；*. 可以实现*个*英寸样品的储存及快速进样。仪器质保期需求：**个月。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 ******、**校区通勤车服务 项目所在采购意向： ********年**月政府采购意向 采购单位： **** 采购项目名称： ******、**校区通勤车服务 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： C******** 道路客运服务 采购需求概况 ： ****师生往返**校区和**校区的通勤班车服务（寒暑假、节假日除外） 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。