松山湖材料实验室2024年10月至2024年12月政府采购意向

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信息地址:https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/freecms/site/gd/ggxx/info/****/*a*ede*c**d*********db*b*****e**.htmlnoticeType=** 为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下： 序号 采购项目名称 采购需求概况 落实政府采购政策情况 预算金额(元) 预计采购时间 备注 * **湖材料实验室文献数据库服务采购项目 标的名称：文献数据库服务采购项目 标的数量：* 主要功能或目标：主要功能：文献数据库服务，其中包含：Nature系列、SpringerMaterials、SpringerLink部分专辑、Science Direct、Cell系列、Web of Science、APS等。目标服务**湖材料实验室实验室科研人员，加强文献保障能力。 需满足的要求：需具有出版物进口经营许可证。所采购文献数据库需能够正常访问，平台检索性能强大，**品质齐全、及时更新，全文库数据库需可通过浏览器访问及保存下载，IP范围内无并发数限制，提供符合COUNTER *标准的使用统计，提供免费培训、问题解决与维护、专人售后服务与技术支持等。 遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 *,***,***.** ****年**月 * **湖材料实验室半自动有机清洗设备采购项目 标的名称：半自动有机清洗设备采购项目 标的数量：* 主要功能或目标：该设备主要用于微纳加工工艺中*、*、*、*寸晶圆的有机清洗，清洗晶圆表面和结构内部的亚微米杂质颗粒、刻蚀副产物和光刻胶残留等。 需满足的要求："需满足的工艺技术指标： *、样品尺寸：至少兼容*、*、*、*寸晶圆； *、支持减薄片、翘曲片和镂空片的有机清洗工艺； *、具备药液加热功能； *、具有背洗功能； *、配备有机药液柜，药液管路数量至少*路；" 遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 *,***,***.** ****年**月 * **湖材料实验室化学机械抛光设备采购项目 标的名称：化学机械抛光设备 标的数量：* 主要功能或目标：主要为了满足半导体制程中垂直互联器件加工、*D工艺集成领域对介质、金属及半导体等材料的高精度材料抛光的需求，以便在先进垂直互联器件工艺领域内进行相关科学研究。 需满足的要求：*）兼容*、*、*寸晶圆的抛光作业； *）抛光头分区：*寸抛光头≥* Zone ；*寸抛光头≥* Zone；*寸抛光头≥* Zone； *）抛光处理后表面粗糙度Ra≤*.*nm（Si**薄膜）； *）晶圆内部不均匀度≤*%（*英寸，去边*mm）； *）多晶圆间不均匀度≤*%（*英寸，去边*mm）； *）至少配有光学、摩擦学、电涡流三种终点检测方式。 遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 *,***,***.** ****年**月 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 **湖材料实验室 ****年**月**日