广东中科半导体微纳制造技术研究院2024年11月至2024年12月政府采购意向

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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下： 序号 采购项目名称 采购需求概况 落实政府采购政策情况 预算金额(元) 预计采购时间 备注 * 垂直式电化学沉积设备 标的名称：垂直式电化学沉积设备 标的数量：* 主要功能或目标：通过电化学原理，在晶圆表面形成一层或多层金属薄膜，最终满足半导体器件的电气连接、信号传输和散热等功能，实现金属化沉积工艺 需满足的要求：设备构成： *）垂直紧凑型电镀工艺单元：每个电镀工艺单元容积不大于*L *）转载机构将晶圆由水平翻转后，自动实现与晶圆加持器的对接，完成上下料及密封带的接触 设备性能需求： *)应具备晶圆夹持系统：兼容***mm&***mm晶圆且可同时作业 *)工艺槽满足：配备在线式加热器，不使用外部加热器，控制精度应保证在±*℃内； 工艺要求： *）导电密封规格满足：EE*.*mm & EBR:*.*+/* 落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 *,***,***.** ****年**月 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 **中科半导体微纳制造技术研究院 ****年**月**日