哈尔滨工业大学（深圳）外延层厚度与微结构分析系统意向公开

正文内容

***工业大学（**）外延层厚度与微结构分析系统意向公开采购单位:***工业大学（**）项目名称:外延层厚度与微结构分析系统预算金额（元）:*,***,***.***采购品目:光学式分析仪器采购需求概况:采购一台傅里叶变换红外光谱仪和一台微纳结构检测系统。傅里叶变换红外光谱仪用于外延层厚度分析，支持最大晶圆尺寸*英寸，膜厚测量范围*nm~***μm，测试精度±*.*nm。微纳结构检测系统是一台定制化原子力显微镜，用于外延层上刻蚀微结构的粗糙度、垂直度检测。支持测量模式：接触、智能扫描、轻敲、相位成像、抬起、暗抬起；扫描范围：不小于**μm x **μm x **μm；支持最大晶圆尺寸：*英寸；Z方向噪音水平：<*.*？；XY方向噪音水平：<*.**nm。联系人:简老师联系电话:***********预计采购时间:****-**备注:无本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准