浙大宁波理工学院2024年12月高真空磁控溅射系统政府采购意向

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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将浙***理工学院****年**月高真空磁控溅射系统采购意向公开如下： 采购单位 浙***理工学院 采购项目名称 大尺寸高真空磁控溅射系统 预算金额（元） *******.** 是否面向中小企业 面向中小企业 落实政府采购政策功能情况 落实政府采购相关政策 预计采购时间 ****年**月 采购需求概况 标的名称：大尺寸高真空磁控溅射系统 数量/单位：*台 预算金额（元）：*******.** 采购目录：A********电子工业生产设备 需实现的主要功能或者目标：空载腔体极限真空度：≤*x**-* Pa，漏率≤*x**-** Pa•m*/s；平面阴极：W***L***mm，*套，分别用于*套金属氧化物和一套金属靶材，靶头水冷系统；射频电源 *KW，*套，直流电源 *KW；膜厚均匀性：*** mm半片内，≤*%@***nm，*%@**nm；工艺温度：RT-***oC；靶基距离：**-***mm可调;基片架：可放置***mm半片*片及其它规格小尺寸片子。 需满足的质量、服务、安全、时限等要求：（一）保证提供的产品为全新，质量检测合格，质保期*年 ；（二）免费提供安装调试、人员培训、软件升级等服务，售后服务响应及时；（三）保证正常使用时的安全；（四）时限要求：供货期*个月左右。 联系人 冯老师 联系电话 *********** 备注 / 浙***理工学院 ****年**月**日 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。