芜湖市产业创新中心2024年8月政府采购意向

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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将***产业创新中心****年*月采购意向公开如下： 序号 采购项目名称 采购需求概况 预算金额（万元） 预计采购时间（填写到月） 备注 * 西电**研究院碳化硅外延炉采购 **电子科技大学**研究院采购碳化硅外延炉*台。加工晶圆尺寸为：*、*英寸兼容；最大工艺温度为：****℃；高速生长速率为：≥**μm/h，标准生长速率为：≥**μm/h；背景浓度＜*E** cm-*；厚度** um外延层（*&*英寸）指标为 ：单片外延层厚度不均匀性为：≤* %（б/mean），片内掺杂浓度不均匀性为：≤* %（б/mean）；可控掺杂浓度范围为：*E**～*E** cm-*。用于碳化硅外延材料生长，实现自主外延晶圆材料供给。 *** ****年**月 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 ***产业创新中心 ****年**月**日