zycgr240415012025年4至10月政府采购意向-原子层沉积设备

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原子层沉积设备 项目所在采购意向： *****************年*至**月政府采购意向 采购单位： ************* 采购项目名称： 原子层沉积设备 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********电气物理设备 采购需求概况 ： *台 腔体尺寸：*英寸兼容； 基础真空：小于** Pa； 加热控制：**℃-***℃； 气体接口：不锈钢卡套、NPT螺纹； 气体种类：臭氧、氮气、氨气、氩气； 前驱体数目：*路液态钢瓶+*路固态钢瓶+*路气体 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。