中国科学院地质与地球物理研究所2024年7至12月政府采购意向

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高温固态谐振陀螺仪谐振子膜层制备系统 项目所在采购意向： *******************年*至**月政府采购意向 采购单位： *************** 采购项目名称： 高温固态谐振陀螺仪谐振子膜层制备系统 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********其他仪器仪表 采购需求概况 ： "在保证谐振子面向精度、圆度与粗糙度的基础上，实现谐振子及电极基板镀膜并检测膜层的粗糙度和膜层应力等关键参数，其主要性能指标如下： 主要性能指标如下： ①真空室尺寸：Φ***mm*H***mm顶升盖 ②极限真空度：优于*.*×**-* Pa ③真空室保压：系统停泵关机**小时后真空度≤*Pa ④适用于系统的膜层材料：各种金属、合金等导电薄膜材料，各种介质材料，特别是Ni、Cr、Au等薄膜 ⑤膜层片内不均匀性：≤±*%（三片片状样品）； 周向不均匀性≤±*%；径向不均匀性≤±*%""" 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。