（编号：QWQTJY24003）复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所SiC刻蚀等仪器设备采购项目中标公告

正文内容

一、项目编号：QWQTJY*****（NBITC-*********G） 二、项目名称：******研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所SiC刻蚀等仪器设备采购项目 三、中标（成交）信息 *.中标结果： 序号中标（成交）金额(元)中标供应商名称中标供应商地址*投标报价：*******（元）**北方华创微电子装备有限公司*****经济技术开发区**大道*号*投标报价：*******（元）**鲁汶仪器股份有限公司**省***经济开发区辽**路*号*投标报价：******（元）**聚智半导体科技有限公司**省******开发区荣利街****号*投标报价：******（元）**中电科电子装备有限公司*****经济技术开发区泰河三街*号*号楼***室*投标报价：******（元）**卓海科技股份有限公司**省***新吴区珠江路**号*投标报价：******（元）**蓝箭仪器有限公司**省******航埠镇育尚路**号**幢***室*投标报价：********（元）**芯立电子科技有限公司*******宣春路***号*幢一层*投标报价：*******（元）**聚智半导体科技有限公司**省******开发区荣利街****号 *.废标结果: 序号标项名称废标理由其他事项*尾气处理Scrubber等仪器设备标项*投标供应商数量不符合要求,系统自动废标 四、主要标的信息 货物类主要标的信息： 序号标项名称标的名称品牌数量单价(元)规格型号*SiC刻蚀SiC 刻蚀**NAURA*台*******GDE C****干法铝刻蚀干法铝刻蚀****鲁汶仪器*台*******Heverlee® Pishow® M*聚酰亚胺烘烤聚酰亚胺烘烤**聚智*台******JZ-****揭膜机等仪器设备揭膜机**中电科*台*****MDT-**J*揭膜机等仪器设备贴膜机（减薄前）**中电科*台******STM-****揭膜机等仪器设备贴膜机（划片保护）**中电科*台******SWM-****电阻率测试仪电阻率测试仪**卓海*台******ZH-PR**应力检测设备应力检测设备**速普*台******FST*****介质膜（氧化硅、氮化硅）刻蚀等仪器设备介质膜（氧化硅、氮化硅）刻蚀美国 LAM*台*******Lam Rainbow******介质膜（氧化硅、氮化硅）刻蚀等仪器设备干法去胶机美国 Gasonics*台******A******介质膜（氧化硅、氮化硅）刻蚀等仪器设备金属溅射美国 MRC*台*******Eclipse Mark IV**介质膜（氧化硅、氮化硅）刻蚀等仪器设备光学膜厚量测美国 Nanometrics*台******NANOSPEC******金相显微镜金相显微镜日本尼康*台******optiphot 五、评审专家（单一来源采购人员）名单： 陈大果，施立钦，林型晓（采购人代表），王旭，罗锋，潘志崇，曹玲娟（采购人代表） 六、代理服务收费标准及金额： *.代理服务收费标准：按招标文件收费标准 *.代理服务收费金额（元）：****** 七、公告期限 自本公告发布之日起*个工作日。 八、其他补充事宜 具体服务要求详见招标文件 九、对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系　　　 *.采购人信息 名称：******研究院 地址：**前湾新区**二路***号金融广场C*栋 传真：/ 项目联系人（询问）：高老师 项目联系方式（询问）：****-******** 质疑联系人：陈老师 质疑联系方式：****-******** *.采购代理机构信息 名称：*********** 地址：******环**路西段***弄**号世茂茂悦商业中心*号楼七、八楼 传真：/ 项目联系人（询问）：陈洁、邓牟雪 项目联系方式（询问）：****-******** 质疑联系人：姜春辉 质疑联系方式：****-******** *.同级政府采购监督管理部门 名称：**前湾新区经济和信息化局 地址：**前湾新区兴慈一路*号 传真：/ 联系人：杨老师 监督投诉电话：****-******** 附件信息： 国内招标文件*****.doc *.*M 中小企业声明函.pdf ***.*K