磁控溅射仪采购项目成交公告

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****** SUSTech-JC-****-***** 竞采结果公告 项目名称 磁控溅射仪采购项目 项目编号 SUSTech-JC-****-***** 项目类型 货物类 成交方式 最低价成交 公示时间 本公告自发布之日起三日 成交单位 **中科迈格科技有限公司 成交金额(元) ******.** 成交理由 最低价成交 预算(元) ******.* 项目预算是否含税 国产含税 备注 响 应 情 况 采购明细 序号 名称 数量 单位 单价/元(报价) 总价/元(报价) * 磁控溅射仪（核心货物） * 套 ******.* ******.* 是否接受进口 拒绝进口 品牌 **中科迈格科技有限公司 型号 MGDT-* 生产厂商 **中科迈格科技有限公司 产地信息 ******雁栖大街**号院**号楼二层 技术规格及参数 *.溅射室极限真空度：≤*.*x**-* Pa (经烘烤除气后)； 真空获得采用FF***/***分子泵和优质机械泵（RVP-*,*L/S）+CF***电动插班阀，此配置具有抽速快，可获得高真空环境，提供薄膜的洁净度。 系统真空检漏漏率：≤*.*x**-*Pa.l/S； 系统从大气开始抽气：溅射室**分钟可达到*x**-* Pa； 系统停泵关机**小时后真空度：≤*Pa *，溅射室中配有*套国产**mm高性能永磁共焦磁控溅射靶（其中含一个强磁靶,各溅射靶距离可调），靶材尺寸：Ф**mm。分布在一个圆周上，各靶可独立/顺次/共同工作，磁控靶通水冷却，采用磁控靶在上，垂直向下溅射成膜，磁控靶RF、DC、MF兼容，可以溅射磁性材料，磁控靶配有气动挡板截流结构。磁控靶与基片的距离可调，调节距离为：**~**mm。 *.样品台布置在真空室底部，可放置最大直径***mm样品，样品具有连续旋转功能，旋转*—**转/分连续可调。 *.加热装置在真空室上法兰上，对基片托板进行加热，通过热电偶控制控温电源实现闭环控制，系统由加热器和*个加热控温电源组成，加热电源配备日本进口控温表，控温方式为PID自动控温及数字显示；样品加热温度：室温～***°C，连续可调； *.系统配有三路国产怡东质量流量计+MFC控制进气系统（氩、氧、氧），流量分别为***SCCM、**SCCM、**SCCM。 共*路,配备独立混气室； *.系统配有*台数字式***w脉冲直流电源和*台***w全自动匹配射频电源。*套-****脉冲偏压电源； *.加热装置在采用进口氮化钽加热器进行加热，加热温度：室温—****°C，可耐氧气、耐氮气进行化学反应沉积，由热电偶闭环反馈控制，可控可调。 *.尺寸为*英寸的样品可均镀膜，不均匀度 为≤±*%（以镀膜金属薄膜进行验收，镀金属膜厚度约***nm） *.后期提供相关涂层材料的研发协助，包括中熵合金，高熵合金，金属氧化物，高分子涂层等磁控溅射沉积工艺优化以及新型涂层材料开发； 质保期 质保期为一年 售后要求 *、设备安装、调试和验收:在合同生效后的*个月内向用户提供详细的安装要求并提供技术咨询;仪器到达用户指定交货地点后根据用户的时间安排，仪器制造商 (或代理商)在接到用户通知后**天内进行安装调试，直至通过验收 *、技术培训:在用户所在地对用户技术人员(至少*人) 进行至少两天的培训，培训日程视实际情况另走;培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等。 *、厂家保证提供及时优质的售后服务，提供*x**小时的售后服务，接到用户需求后*小时内响应，如有需要**小时内到达用户现场。 *、质保期过后，对仪器提供终身维修服务，能提供广泛、即时、优惠的技术服务，并提供质品上乘、价格合理的各种配件。 *、后期提供相关涂层材料的研发协助，包括中熵合金，高熵合金，金属氧化物，高分子涂层等磁控溅射沉积工艺优化以及新型涂层材料开发 付款方式 货到指定地点、安装验收合格并提供全额发票后，经学校确认无质量问题后支付***％的货款。 交货期 合同签订后**天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前*天（自然日）通知送货