旋涂机(GY202403016)自购结果公示

正文内容

该项目经自行采购程序，允许自购： 供应商： **信远贸易有限公司 中标金额： ***** 公示开始日期 ****-**-** 公示截止日期 ****-**-** **:**:** 采购单位 化学与化工学院 付款方式 货到验收合格后**个工作日付款 签约时间要求 到货时间要求 收货地址 **大学 采购清单* 采购物品 采购数量 计量单位 旋涂机 * 台 品牌 中科院微电子研究所 规格型号 KW - *T 技术参数 型号 KW - *T 转速 ***-**** RPM, 各阶段速度可任意调节 转速稳定性 *RPM 旋涂均匀性（一致性） <*%（片内）； <*%（片间） 基片尺寸 Φ*-Φ***mm 圆片， 最大 ***mm×***mm 方片 显示/程序控制 全触摸屏操作，快速启动，人性化界面，适合专业用户的需求 工艺阶段 * 步工艺调速设计，最大单步旋涂时间：****S，可根据客户需求增加 整机尺寸（mm *） ***mm×***mm×***mm 适应材料/工艺支持 适合硅片、玻璃、石英、金属、 GaAs， GaN， InP 等各种材料及工艺服务 特殊夹具定制 ** 年特殊夹具设计经验，完美匹配超薄、异形、脆性易碎样品 电机功率 **W 真空泵抽气速率 >**L/min 售后服务 服务网点:当地;质保期限:*年;响应期限:报修后*小时; 资产与实验室管理部 ****-**-**