(脉冲激光沉积真空腔体)北京大学深圳研究生院-结果公告(CB10001SZ2024000023)

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基本信息： 申购单号：******************* 申购主题：脉冲激光沉积真空腔体 采购单位：********** 竞价开始时间：****-**-** 竞价截至时间：****-**-** 币种：人民币 付款方式：付**%发货，验收合格付**%尾款。 备注说明： 质疑说明：如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑 成交总额：******.* 送货时间：合同签订后***天内送达 安装要求：免费上门安装（含材料费） 收货地址： 竞价结果： 采购项 品牌 单项预算 成交单价 质保及售后服务 技术参数 数量 单位 型号 成交总价 成交供应商 脉冲激光沉积真空腔体 **外延科技 ******.** （*）服务时间响应: 免费保质期*年，从验收合格之日起计算。免费保质期内，供应商需对由于设备的缺陷而发生的任何不足或者故障负责，并承担所涉及的费用。供应商应派专人负责与采购人联系售后服务事宜，在接到采购人通知的*小时内排除故障，若在三个工作日内不能修复的，需采取相应措施，**更换设备、更换部件等，以保证采购人的正常工作。 （*）免费保质期后服务: 免费保质期过后，供应商需提供终身免工时费保养维修服务。供应商应每年定期或不定期上门查看设备运行状况，不定时电话跟进设备运行状况。若在接到采购人通知对设备进行维修保养时，供应商需专程派遣技术人员到现场进行服务，视实际情况收取维修费用（除工时费）。 技术规格： ★*.*超高真空主腔：球形，***L不锈钢材质，直径≤***mm，内部电抛光处理，本底真空≤*×**-*mbar，烘烤后≤*×**-*mbar；差抽快开门，配有主动抽气系统，更好密封性兼容超高真空。 ▲*.*真空获取和测量系统：主腔体分子泵抽速≥***L/s；前级涡旋干泵的抽速≥*L/s，极限真空≥*.**mBar，峰值抽速≥**.*m*/h；配有测量范围从大气压至≤**-*Pa全量程真空计，量程≥*Torr的薄膜真空计，带有旁抽装置，可以在不停分子泵的条件下进行粗抽操作，实现快速换样和真空获取。 ★*.*激光加热和测温系统：红外激光和测温光路集成模块，具有易操作光路调试系统，红外激光加热，最高加热温度：****℃，光斑大小方向可调；PID控温，样品升温速率*～**℃可调，控制精度≤*.*℃；加热区域*到**mm可调，配有***～****℃红外测温仪。 ▲*.* 样品台：预留法兰接口，适配自配样品台；样品台移动范围：X：±**.*mm，Y：±**.*mm，Z：±**mm，***度自转，靶基距可从**.*～**.*mm范围可调。 *.* 四轴靶台：*靶位扫描靶台，XY: ±**.*mm, Z:***mm,公转：***o,转速可调。靶之间有两级防交叉污染挡板。靶台可磁力杆一次性取出。 *.* 激光光路： *.*.*铝型材光路支架及亚克力玻璃保护罩，激光水平入射靶材，方便多台PLD腔体的光路复用。 *.*.* 配有*块高损伤阈值***nm光学透镜，焦距f=***mm，*块*英寸激光反射镜和配套反射镜支架、透镜支架及透镜滑轨。 *.*.*. 配有铝型材准分子激光器支撑架。 *.* 控制和辅助系统：工艺气压控制；样品台加热软件控制模块；靶台扫描和公转控制模块，具有待机状态自动停止扫描功能；样品和靶材位置软件控制，配有位置保存和载入模块，高效传样和传送靶台，提高生长效率和重复性；脉冲激光脉冲控制，提供计数模式和连续模式；生长编程模式，一键多层模和超晶格生长自动控制。 注：“★”、“▲”参数要求提供相应的证明材料，证明材料不限于产品样本或技术手册、检测报告、功能截图、生产厂家出具的技术证明文件等。响应文件中提供的证明材料需加盖供应商公章。 “★”参数为实质性条款，若有任何一条负偏离，则为无效响应。 *.* 台 ET-PLD-**** ******.** **********