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中国（上海）自由贸易试验区张东路1388号22栋

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经营范围

研制、生产半导体生产设备及零部件、半导体制造工艺软件的制作，销售自产产品；提供上述产品同类商品的批发、进出口及佣金代理（拍卖除外）；提供维修、售后服务及相关的技术支持、技术服务、技术培训、技术咨询。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】

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